Recommended Practices
IEST - Institute of Environmental Sciences and Technologies - har gett ut ett antal Recommended practices. De allra viktigaste finns sammanfattade på denna sida.
Den amerikanska organisationen ”Institute of Environmental Sciences and Technologies” (IEST), publicerar en lång rad dokument som är av mycket stort värde för alla som arbetar med renhet och hygien. Främst är det dokumenten ”Recommended Practices” som är av värde men organisationen publicerar även en rad andra.
HEPA and ULPA Filter
IEST-RP-CC-001.3 (ISBN 1-877862-40-1)
Detta dokument,
som har ersatt RP-CC-001, täcker in de grundläggande definitionerna för HEPA-
och ULPA-fi lter och är tänkt att användas som ett underlag för avtal mellan
köpare och säljare. Filter som svarar upp till kraven i denna Recommended
Practice är anpassade för användning i renzoner och renrum som ligger inom
målsättning för den tidigare renrumsstandarden US Federal Standard 209. Vidare
är den anpassad för användning i tillförselluft och utluftssystem för förorenad
luft i vilka extremt höga filtereffektiviteter för submikrona partiklar
erfordras (≥ 99.97 %). Sex funktionsnivåer och sex
konstruktionsnivåer ingår.
Unidirectional Flow Clean-Air
Devices
IEST-RP-CC-002-86 (ISBN
1-877862-69-X)
Detta dokument utgör en reviderad upplaga av RP-CC-002-86,
”Laminar Flow Clean Air Devices”, med moderniserad terminologi, nya tester och
uppdaterade procedurer. Dokumentet innehåller definitioner, procedurer för
utvärdering av funktion samt viktiga krav på UDF renluftsutrustningar.
Garments System Considerations for Cleanrooms and Other Controlled
Environments
IEST-RP-CC-003.2 (ISBN 1-877862-33-9)
Detta
dokument, som har ersatt RP-CC-003, ger informativa riktlinjer för
specifikationer, tester, val och underhåll av klädesplagg och tillbehör
anpassade för användning i renrum och kontrollerade miljöer.
Evaluating Wiping Materials Used in
Cleanrooms and Other Controlled Environments
IEST-RP-CC-004.2 (ISBN 1.877862-30-4)
Detta dokument,
som har ersatt RP-CC-004, beskriver testmetoder för torkdukar för användning i
renrum och andra kontrollerade miljöer, ur renhets- såväl som
funktionssynpunkt.
Gloves and Finger Cots Used in Cleanrooms and Other Controlled
Environments
IEST-RP-CC-005.2 (ISBN 1-877862-49-5)
Detta
dokument, som har ersatt RP-CC-005, beskriver parametrar och tester som rör
handskar och fingertutor. Dokumentet baseras på (i de fall detta är möjligt)
standardtester godkända av ASTM (American Society for Testing and Materials)
eller andra myndigheter. I de fall då inga sådana tester existerar, hänvisas
till nya tester.
Testing Cleanrooms
IEST-RP-CC-006.1 (ISBN 1-877862-26-6)
Detta dokument,
som har ersatt RP-CC-006, beskriver tester för att utvärdera och karakterisera
den totala funktionen hos ett renrum och en renzon. Dokumentet tar upp
rekommenderade testmetoder, testutrustning samt testprocedurer för beskrivning
av funktionsparametrar. I de fall då testmetoderna är beroende av typ av renrum,
definieras alternativa procedurer. För vissa av testerna existerar olika metoder
och instrument för att tillgodose olika slutanvändarkrav. Testmetoderna kan
också utnyttjas eller anpassas för periodisk uppföljning av renrum och
renzoner.
Testing ULPA Filter
IEST-RP-CC-007.1 (ISBN 1-877862-37-1)
Detta dokument
beskriver testproceduren för produktionstestning av filter genom att studera
partikelpenetration och tryckfall hos ULPA filter. Penetrationsområdet hos
proceduren är 0.001 % till 0.0001 % genom användning av partikelräknare.
Proceduren beskriver utrustning, aerosolegenskaper och beräkningsunderlag för
att bestämma effektiviteten hos ULPA-filter vid användning av partikelräknare.
Proceduren är även användbar i samband med produktionsapplikationer. Riktlinjer
finns specificerade för framtagandet av en lämplig testanordning och
provtagningssystem. Även testkriterier för kvantifiering av penetration i
området 0.001 % och 0.0001 %, användande testaerosolpartiklar i storleksordning
0.1 till 0.2 µm, finns i
dokumentet.
Gas-Phase Adsorber Cells
IEST-RP-CC-008-84
Detta dokument, som tidigare ersatt
AACC tentative Standard CS-8T samt IES-RP-CC-008-83 och IESRP-CC-008-84, täcker
in design och testning av ”gas-phase adsorber cells”. Denna typ av utrustning
utnyttjas i de fall då högeffektiv eliminering av gasformiga föroreningar
erfordras. Två typer av celler diskuteras i förhållande till funktion, material,
utformning, konstruktion, förpackning, installation, beräknad användningstid
samt QA-krav.
Compendium of Standards, Practices, methods, and Similar Documents
relating to Contamination Control
IEST-RD-CC-009.2 (ISBN 1-877862-29-0)
Detta
dokument har ersatt tidigare upplagan av RP-009. Dokumentet innehåller
standarder, rekommendationer, metoder, tekniska föreskrifter, specifikationer
och liknande dokument framtagna av myndigheter, industrin samt tekniska
organisationer i USA och andra länder och som är relevanta för det
renhetstekniska området. Dokumentet innehåller mer än 160 referenser från
amerikanska källor och mer än 100 från länder och organisationer utanför USA.
Varje referens inkluderar dokumentets nummer och dess titel tillsammans med dess
originalkälla, dess sista datum, antal sidor samt land och språk som används.
Varje listpunkt har en numerisk referens samt listas också per kategori. Korta
abstrakts finns också med i de fall sådana är
tillgängliga.
A Glossary of Terms and definitions
relating to Contamination Control
IEST-RD-CC-011.2 (ISBN 1-877862-28-2)
Detta dokument har
ersatt IES-CC-011-85 T. I detta dokument definieras termer relaterade till
renhetsteknik och innehåller även en lista med vanligen använda förkortningar.
Dokumentet innehåller också en lista över IEST Recommended Practices samt en
lista baserad på ämnesområden. Termer och definitioner inkluderade i detta
dokument har generellt sett en bestämd mening i förhållande till
föroreningskontroll, dvs. renhetsteknik och rena rum.
Considerations in Cleanroom
Design
IEST-RP-CC-012.1 (ISBN
1-877862-31-2)
Detta dokument innehåller rekommendationer vad beträffar
faktorer som man behöver beakta i samband med design av renrumssystem.
Diskussionerna är begränsade till miljöförhållanden som är typiska och som möter
konstruktörer och användare av renrum. Detta dokument syftar till att ge
användaren lämpliga redskap för att definiera funktionskriterier för renrum.
Equipment Calibration & Validation
Procedures
IEST-RP-CC-013-86-T
Detta
dokument täcker in definitioner och procedurer för kalibrering av instrument som
utnyttjas för att testa renrum och renluftsutrustningar, och för att bestämma
kalibreringsintervall.
Calibrating Particle
Counters
IEST-RP-CC-014.1
Cleanroom Production and Support
Equipment
IESR-RP-CC-015-87-T
Detta dokument
föreslår många infallsvinklar för design, installation och användning av
produktions- och hjälputrustningar som används i renrum eller i
renluftsutrustningar för att minimera instrumentets bidrag till förorening av
produkt. Syftet med dokumentet är att förstärka kommunikationer mellan
utrustningskonstruktörer, personal som arbetar med produktionslayout,
produktionsledning, kvalitetspersonal samt projektpersonal. Dokumentet kan också
användas som ett utbildningsverktyg för att hjälpa inköpare ta fram lämpliga
inköpsspecifikationer.
The Rate of Deposition of Nonvolatile
residues in Cleanrooms
IEST-RP-CC-016.1 (ISBN
1-877862-32-0)
Detta dokument erbjuder en metod och bas för bestämning av
depositionshastigheten av icke-flyktiga ämnen, så kallad Non-Volatile Residues
(NVR) på ytor i ett renrum. Vid design av uppvärmnings-, ventilations- och
luftkonditioneringssystem, val av lämpliga filter tillsammans med materialval
för användning vid konstruktion av renrum måste kravprofilen för NVR specifi
ceras av användaren. Renrumskonstruktörer bör beakta det maximala NVR som
föreslåss i denna Recommended Practice, i de fall där deposition av NVR kan
påverka produkterna eller produktionen.
Cleanroom Housekeeping – Operating and Monitoring
Procedures
IEST-RP-CC-018.3
(ISBN 1-877862-36-3)
Detta dokument har ersatta alla tidigare versioner av
RP-CC-008. Denna Recommended Practices ger vägledning för underhåll av renrum
vid den nivå som det konstruerats. Det är avsett som en guide för att etablera
tillämpliga rengöringsprocedurer. Dessutom finns testprocedurer beskrivna för
att fastställa kontrollfrekvens samt mätning och uppföljning av
rengöringseffektivitet. Dessa testmetoder kan också vara till gagn för att
bestämma lämpliga nivåer på ytrenhet för specifika renrum.
Substrates and Forms for
Documentation in Cleanrooms
IEST-RP-CC-020.2
(ISBN 1-877862-48-7)
Detta dokument har ersatt tidigare IES-RP-CC-020-88-T.
Dokumentet ger förslag på listor och blanketter för att underlätta
dokumentation. Det inkluderar kopieringspapper, etiketter, lappar, självhäftande
notispapper, perforerade och hålslagna blanketter, kuvert, inbundet material
samt alla tryckta versioner av dessa. Dokumentet ger lämpliga metoder för att
bestämma renheten av dessa produkter i förhållande till deras respektive
användningsområde i renrum.
Testing HEPA and ULPA Filter
Media
IEST-RP-CC-021.1
(ISBN-1-877862-21-5)
Denna Recommended Practice tar upp testmetoder för
fysikaliska såväl som filtreringsegenskaper för ”High Efficiency Particulate Air
” och ”Ultralow Penetrating Air” filtermedier. Denna RP är avsedd att användas
för, och inte bara begränsas till, acceptanskriterier för testmetoder,
testaerosoler och partikelstorlek samt ythastighet vid test.
Electrostatic Charge in Cleanrooms and Other Controlled
Enviroments
IEST-RP-CC-022.1 (ISBN 1-877862-22-3)
Detta
dokument tar upp metoder för specificering och utvärdering av effektiviteten hos
tekniker som utnyttjas för styrning av elektrostatisk laddning. Att kontrollera
och styra elektrostatisk laddning reducerar ytföroreningar och elektrostatisk
urladdning. Dokumentet beskriver testmetoder, ger riktlinjer för att verifiera
laddningsneutralisation samt resistivitet hos material. Dokumentet beskriver
typiska styr- och kontrollsystem samt deras användning.
Microorganisms in Cleanrooms
IEST-RP-CC-023.1 (ISBN 1-877862-23-1)
Detta
dokument beskriver riktlinjer för kontroll och kvantitativa mätningar av levande
luft och ytföroreningar. Det inkluderar en introduktion till metoder och
utrustningar som finns tillgängliga för kvantifiering av luftburna och ytbundna
levande föroreningar, dvs. mikroorganismer. Dokumentet beskriver också vissa av
de nu tillgängliga desinfektionsmedlen, deras avdödningsspektrum och tekniker
för dess användning.
Measuring and Reporting Vibration in
Microelectronic Facilities
IEST-RP-CC-024.1
(ISBN 1-877862-24-X)
Utrustning som utnyttjas vid tillverkning, mätning och
inspektion av integrerade kretsar är känslig för vibrationer och ljus. Det är
därför nödvändigt att etablera nivåer på vibrationskänslighet för dessa
produktionssteg och för att tillse att vibrationer som förekommer i verksamheten
understiger dessa nivåer. Detta dokument är avsett att ge riktlinjer inom
mikroelektronikindustrin. Det kan också tillämpas inom den
läkemedelsproducerande industrin och biologisk forskning samt andra områden där
kontroll och styrning av vibrationer är av betydelse.
Cleanroom Operations
IEST-RP-CC-026.1 (ISBN 1-877862-25-8)
Detta dokument tar
upp riktlinjer för bibehållande av renrummets integritet under komplementerande
arbetsoperationer. Till dessa operationer innefattas förberedande av
förrådsmaterial och annat material, modifiering av produktionsområdet,
installation och reparation av utrustning. Procedurer tas upp för verifiering av
utrustningens renhet, arbetsstationen och produktionsområdet efter det att dessa
komplementerande
operationer genomförts.
Personnel Practices and procedures in
Cleanrooms and Controlled Environments
IEST-RP-CC-027.1 (ISBN 1-877862-65-7)
Detta dokument ger
en bas för att ta fram riktlinjer och för utvecklandet av utbildning och
träningsprogram för personal som arbetar i renrum och tillhörande utrymmen.
Dokumentet innehåller inte specialiserad information som krävs vid
tillverkningsprocedurer erfordrande kontroll av levande mikrobiell förorening.
Minienvironments
IEST-RP-CC-028.2
Automotive Paint Spray
Applications
IEST-RP-CC-029.1
Detta dokument
ger riktlinjer och rekommenderade procedurer för kontroll av smuts (partiklar,
fiberformat material etc.) i kontrollerade miljöer som används vid
sprutmålning.
Building Code reference Handbook: A
Guide to Alternative Code Complience Issues in the Semiconductor
Industry
IEST-RD-CC-033.1 (ISBN
1-877862-71-1)
Detta dokument utgör ett referensdokument för design,
konstruktion eller användningen av lokaler inom halvledarindustrin.
HEPA and ULPA Filter Leak
Tests
IEST-RP-CC-034.1 (ISBN
1-877862-681-1)
Detta dokument tar upp definitioner, utrustning och
procedurer för läcktestning av HEPA och ULPA filter i fabriken där de
tillverkas, vid användningsstället innan installation och även efter att de
installerats i ett renrum eller en UDF-enhet. IEST ger också ut följande
”Technical Guides” som komplement till ISO 14644-1 and ISO 14644-2
Counting airborne particles for
classification and monitoring of cleanrooms and clean zones
IEST-G-CC1001
Denna ”Technical Guide” beskriver metoder
för provtagning av luft i en ren miljö under användandet av DPC (Discete
Particle Counter) för att bestämma koncentrationen av luftburna partiklar.
Protokollen som beskrivs är användbara i olika renrumstillstånd och utnyttjas
för klassificering (i enlighet med ISO 146441) samt uppföljning (i förhållande
till ISO 14644-2). Dokumentet inkluderar rekommendationer för presentation av
data samt exempel på en datarapport.
Determination of the concentration of airborne ultrafi ne
particles
IEST-G-CC-1002
Detta dokument utgör ett
supplement till de procedurer för bestämning av koncentrationen av ultrafina
partiklar (ultrafine particles) som beskrivs I ISO 14644-1. Procedurerna som
presenteras i denna Guide är tillämpliga för klassificering (i förhållande till
ISO 14644-1) och uppföljning (i förhållande till ISO 14644-2) vad beträffar
renrum och renzoner som klassificeras som ISO klass 4 eller renare. Den specifi
ka eller den uppmätta koncentrationen av ultrafina partiklar (beskrivs i termer
av ultrafina partiklar per kubikmeter) anges som det numeriska värdet som
U-descriptor. Ultrafina partiklar inom detta användningsområde, definieras som
att ha en partikelstorlek mindre än 0.1 µm. Denna guide beskriver utrustning och
procedurer som erfordras för bestämning av U-descriptor och ger också riktlinjer
och exempel på lämpligt format för rapportering av data.
Measurement of airborne
macroparticles
IEST-G-CC-1003
Detta dokument
täcker in begreppet makropartiklar. Storleksmässigt inkluderar begreppet
makropartiklar (enligt ISO 14644-1) partiklar som är större än 5 µm i diameter.
Partiklar i denna storleksordning är ofta av intresse vid klassifi ering och
uppföljning av renrum och renzoner som har en renhetsklassificering som
motsvarar ISO klass 5 eller mindre rena. Renheten med avseende på makropartiklar
uttrycks i termer av M-descriptor och uttrycks som det numeriska värdet av
makropartiklar per kubikmeter. Detta dokument beskriver utrustning och
procedurer för klassificering av makropartiklar (i förhållande till ISO 14644-1)
och uppföljning (i enlighet med ISO 14644-2).
Sequential sampling plan for use in
classification of the particle cleanliness of air in Cleanrooms and
Cleanzones
IEST-G-CC-1004
Detta dokument är
en vidareutveckling av begreppet sekventiell provtagning (sequential sampling)
som finns beskriven i ISO 14644-1. Genom utnyttjande av sekventiell provtagning
tillsammans med standard provtagningsprocedurer kan signifikanta besparingar ske
vad gäller provtagningstid, upp emot 80 % i samband med klassificering och
uppföljning av mycket ren luft i renrum och renzoner. Proceduren används med
fördel i miljöer som klassificerats som ISO klass 4 eller renare i samband med
testning i förhållande till ISO 14664-1.
@


